請?jiān)敿?xì)閱讀本說明書，并妥善保存，以備日后維護(hù)時(shí)參考 ?。
1-1 風(fēng)機(jī)過濾器單元
風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU ）是一種 自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝 置 。
風(fēng)機(jī)從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過濾，過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè) 。
● 使用環(huán)境
?周圍溫度：5℃～40℃
?濕度：低于 85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)
?周圍空氣：一般室內(nèi)空氣
?清凈度：100-10 級
?請避免連續(xù)反復(fù) ON/OFF 操作機(jī)體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組，將會(huì)影響制品性能，并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過濾器單元請參閱第 4 頁的〝重要安全事項(xiàng)〞。

2 1-2 結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

(1) 主要部件

1 2-1 安裝使用環(huán)境
● 風(fēng)機(jī)過濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾器單元場所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災(zāi)。
● 請勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品，如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。
● 請勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品，如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。
2 2-2 運(yùn)送與安裝
● 請?jiān)陲L(fēng)機(jī)過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品，搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平，如果使用輕便推車等工具運(yùn)送時(shí)，請選用車臺(tái)超過機(jī)體包裝寬度的推車。
● 機(jī)體安裝后，機(jī)體上方至少須預(yù)留 30 公分以上的空間，以利將來機(jī)體維修，未預(yù)留足夠的維修空間，機(jī)體將無法進(jìn)行維修及部件更換。
● 試運(yùn)轉(zhuǎn)前，請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。
3 2-3 安裝 ? 使用注意事項(xiàng)
● 風(fēng)機(jī)過濾器單元安裝于無塵室時(shí)，請務(wù)必遵守下列指示
● 當(dāng)進(jìn)入無塵室時(shí)
請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
點(diǎn)檢時(shí)請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。
● 切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過濾器單元機(jī)體，以免造成機(jī)體變形。
● 請勿以沾濕的手操作機(jī)體，以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。
● 請勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口，機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽，將導(dǎo)致機(jī)體性能無法正常發(fā)揮，造成機(jī)體功能異?；螂姎獠考p壞。
● 實(shí)施第三種接地工事，以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。
. 2. 重要安全事項(xiàng)
3-1 1 1 1 運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)
運(yùn)轉(zhuǎn)前請先檢查下列注意事項(xiàng)：
● 機(jī)體外部電源是否連接，電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。
● 機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。
● 機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。
3-2 2 2 2 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)
(1) 開始運(yùn)轉(zhuǎn)
● 當(dāng)電源開啟后，機(jī)體即開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請確認(rèn)是否有異常現(xiàn)象。
當(dāng)有下列情形發(fā)生，機(jī)體無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，請向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。
● 機(jī)體內(nèi)部有異物，機(jī)體離心風(fēng)扇無法正常旋轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體內(nèi)部電線脫落，接頭松脫。
● 機(jī)體內(nèi)部電氣部件，如過電源插頭、馬達(dá)損壞。
(2) 停止運(yùn)轉(zhuǎn)
● 運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，請即切斷電源，停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。

4. 維修 ? 點(diǎn)檢
● 自購買日起進(jìn)行定期檢查，請勿自行檢查，以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。
● 除了維修人員外，請勿自行拆解、修理或變更規(guī)格，以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。
● 當(dāng)更換濾網(wǎng)等部件時(shí)，請注意不要損壞濾紙。
● 維修?點(diǎn)檢時(shí)，請務(wù)必先切斷電源，停止機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)后再實(shí)施，以免發(fā)生觸電或傷害危險(xiǎn)。
● 當(dāng)安裝?維修?點(diǎn)檢完成后，在機(jī)體起動(dòng)前，請確定機(jī)體基礎(chǔ)穩(wěn)固。
4-1 日常維護(hù)
每天工作開始之前請依表 2.點(diǎn)檢下列各項(xiàng)，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。

4-2 定期維護(hù)
使用風(fēng)機(jī)過濾器單元一段時(shí)間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，請務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。
4-2.1 定期維護(hù)
(1)定期維護(hù)項(xiàng)目請依表 3.所示，對風(fēng)機(jī)過濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢，當(dāng)部件壽命已至?xí)r，請立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄 漏 (腐蝕氣體…..等) 意外發(fā)生，
停機(jī)再啟動(dòng)后，請務(wù)必實(shí)施相同的檢查。

3. 定期維護(hù)項(xiàng)目

表 4 ?消耗性部件的更換期間 ( 我司建議 )

4.2.2 點(diǎn)檢完成
點(diǎn)檢完成后，清潔工作場所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況；保留點(diǎn)檢報(bào) 告 ,當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。
3 4-3 故障排除
?若有以下現(xiàn)象發(fā)生，連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì)) ，然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。

● 非服務(wù)技術(shù)人員請勿拆解、修理或修改風(fēng)機(jī)過濾器單元，以避免造成嚴(yán)重的意外，例如觸電或火災(zāi)。

● 當(dāng)需要更換服務(wù)備品時(shí)，請務(wù)必依本說明書中表 1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。
● 任何未經(jīng)認(rèn)可之代用品，不僅可能會(huì)影響風(fēng)機(jī)過濾器單元的性能，同時(shí)可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險(xiǎn)。

FFU概念及FFU原理

Fan Filter Unit（風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組）簡稱FFU，是由高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）、微型風(fēng)機(jī)、殼體組合而成的凈化空調(diào)末端，其用于亂流及層流潔凈室內(nèi)。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用，根據(jù)吊頂骨架的不同選擇與之對應(yīng)的FFU。FFU的潔凈方式可以實(shí)現(xiàn)空氣潔凈度等級要求在ISO3∽ISO9（即1級∽100萬級）之間的潔凈室。

常見的潔凈室空氣處理方式有兩種，分別是MAU+AHU+HEPA（以下簡稱AHU系統(tǒng)）和MAU+FFU+DC干盤管（以下簡稱FFU系統(tǒng)）。通過對兩種方式的比較得出：FFU在凈化空調(diào)系統(tǒng)中充當(dāng)了凈化循環(huán)機(jī)組，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量等于潔凈室內(nèi)FFU的風(fēng)量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進(jìn)潔凈室內(nèi)，并通過回風(fēng)夾道將循環(huán)空氣再送回到天花夾層；循環(huán)空氣在通過回風(fēng)夾道時(shí)與安裝在夾道中的DC干盤管進(jìn)行熱量交換。

附FFU特點(diǎn)及用途

FFU的特點(diǎn)：低能耗、低噪音、方便靈活、節(jié)約空間、易安裝。

低能耗：從FFU的組成部件來看，需要消耗能量的只有微型風(fēng)機(jī)，而微型風(fēng)機(jī)的功率一般都是在110w∽190w之間，雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。通常潔凈室的循環(huán)風(fēng)量是很大的，以面積為100m2、潔凈室內(nèi)高為3m、空氣潔凈度等級要求為ISO6（即1000級）的潔凈室為例：《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范（GB500073—2001）》規(guī)定空氣潔凈等級為ISO6的潔凈室的換氣次數(shù)為50∽60次/h。我們在這里取換氣次數(shù)為55次/h，F(xiàn)FU則總循環(huán)風(fēng)量為16500CMH，補(bǔ)新風(fēng)量我們?nèi)?000CMH。

方案1AHU系統(tǒng)中：MAU的全壓損失為700Pa,功率為2.2kw;AHU的全壓損失為1300Pa，功率為15kw；整個(gè)系統(tǒng)的總功率為17.2kw。

方案2FFU系統(tǒng)中：MAU的全壓損失為800Pa,功率為2.2kw；FFU規(guī)格為1200×600，風(fēng)量1200CMH)有14個(gè)，單個(gè)FFU的功率為190W,FFU總功率為2.66kw；整個(gè)系統(tǒng)的總功率為4.86kw。

通過對方案1、2的功率比較，我們得出一個(gè)結(jié)論：FFU在系統(tǒng)充當(dāng)循環(huán)風(fēng)柜和高效過濾器的集合體，而且其消耗的功率遠(yuǎn)比循環(huán)風(fēng)柜AHU功率的要小，符合現(xiàn)在大力提倡節(jié)約型社會(huì)的主題，并給廠方在節(jié)約生產(chǎn)成本方面找到一個(gè)新的方向。

低噪音：《中戶人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)城市區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)》規(guī)定：工業(yè)區(qū)FFU晝間65db(A)、夜間55db(A)。目前市場上風(fēng)機(jī)的噪音值一般是在65∽90db(A)，有的甚至?xí)_(dá)到100db(A) 以上，如果采用AHU系統(tǒng)就很容易噪聲超標(biāo)，造成噪聲污染。而FFU的噪音值一般是在45∽55db(A)，這樣就不會(huì)擔(dān)心其噪聲會(huì)超標(biāo)。

隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展，促使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)，對FFU的需求也越來越大。本文重點(diǎn)闡述了FFU的特點(diǎn)及控制方式，并結(jié)合現(xiàn)代電子潔凈室對空氣潔凈度等級的要求；分析了FFU應(yīng)用在潔凈室中的優(yōu)勢，并介紹了FFU在實(shí)際工程案例中的應(yīng)用。

隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展，促使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)。現(xiàn)代化工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。電子計(jì)算機(jī)就是微型化產(chǎn)品中最具代表性的產(chǎn)品之一，電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路。特別是20世紀(jì)80年代大規(guī)模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展，大大促進(jìn)潔凈技術(shù)的發(fā)展。

附：潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測試

(一)空態(tài)、靜態(tài)測試

空態(tài)測試:潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。

靜態(tài)測試:潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。

(二)動(dòng)態(tài)測試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測試。

潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

二、空態(tài)、靜態(tài)測試

(一)測試前的準(zhǔn)備

1、應(yīng)對潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。

2、采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對高效空氣過濾器進(jìn)行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)(或風(fēng)管內(nèi))粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2–3厘米處，可以2~4厘米/秒的速度移動(dòng)，對高效空氣過濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。

當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏。

(二)測試內(nèi)容

1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等;

2、潔凈室壓力值;

3、層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向;

4、潔凈工作區(qū)的潔凈度;

5、室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測試;

6、潔凈室內(nèi)噪聲。

(三)潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計(jì)數(shù)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計(jì)數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。光散射粒子計(jì)數(shù)法:

1、光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。l，000級-l0，000級:每次采樣量大于或等于0.3升。100，000級:每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測試;如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。

2、采樣注意事項(xiàng):

(1)采樣管必須干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。

(2)采樣管的長度，應(yīng)根據(jù)儀器的允許長度。當(dāng)無規(guī)定時(shí)，不宜大于1.5米。

(3)采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。

(4)采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。

3、測點(diǎn)布置

(l)檢測在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米

(2)層流潔凈室測點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn)，測點(diǎn)間距為0.5~2.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過。水平層流潔凈室測點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。

(3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測點(diǎn)(附圖2)。每增加20-50平方米，增加3–5個(gè)測點(diǎn)。

4、數(shù)據(jù)整理

(1)每個(gè)測點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測數(shù)值。

(2)對于大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)確定:層流潔凈室取各測定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測點(diǎn)的平均值。

(四)正壓值測定應(yīng)采用精度可達(dá)0.01毫米水柱的微壓計(jì)。

三、動(dòng)態(tài)測試。在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。

凈化空調(diào)也就是組合式空調(diào)機(jī),凈化空調(diào)能進(jìn)行空氣運(yùn)行制冷、干燥、加熱、加濕、混合、過濾凈化、消聲、輸送等處理過程，各 功能段組合靈活，可按使用場合要求任意多功能組合，能滿足各行業(yè)的空氣凈化，空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的需要 ，廣泛應(yīng)用于電子儀表、精密儀器制造、紡織、化織、卷煙、制藥、醫(yī)院手術(shù)室、食品、化妝品、核電 站、輕化工等行業(yè)作工業(yè)性空調(diào)，也適用于影劇院、體育館、商店、餐館、賓館、辦公大樓等大中型公
共建筑作適應(yīng)性空調(diào)。

空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)通過一定的流速將灰塵送到過濾系統(tǒng)當(dāng)中，初級過濾器將5um以上大顆?；覊m留在過濾表 面，中效過濾器將1um-5um顆粒抓取，高效過濾器將0.3um-0.5um以上灰塵顆粒過濾，從而保證無塵車間等級！
無塵室空調(diào)特性：

微塵粒子（按等級要求）
溫度（22-23攝氏度DB），濕度（40-45%RH）
恒溫恒濕控制要求（正負(fù)0.1攝氏度，正負(fù)2%）
全外氣與高換氣次數(shù)（化學(xué)藥品，氣體，揮發(fā)溶劑）
全天候（24hr）運(yùn)轉(zhuǎn)（負(fù)荷大，備份機(jī)組）

氣流分布與控制
高能耗，高運(yùn)轉(zhuǎn)以及維修成本（1.4-1.9KW/m2）
空氣循環(huán)量計(jì)算：
1、依空氣換氣次數(shù)（ACH）
Q=V*ACH
（m3/hr）=（m3/次）*（次/hr）
（2）依氣流速度（Airvelocity）

Q=V*A
（m3/hr）=（m/s）*（m2）
循環(huán)風(fēng)量=風(fēng)速*面積（房間或回風(fēng)口）

2、依氣流速度（Airvelocity）
Q（立方米/hr）=v(m/s)*A(m2)

循環(huán)風(fēng)量=風(fēng)速*面積
（1）外氣量（Q1與Q2較大者）
Q1=制程排氣量（Qe）+間隙外洩量（Qi）+關(guān)門外泄量（Qd）
（2）外氣量=排氣量+10%排氣量（泄漏）+1%循環(huán)空氣量=8~10%循環(huán)空氣量

空調(diào)內(nèi)過濾網(wǎng)設(shè)計(jì)方案
AirFilter（空氣過濾器.濾網(wǎng)）
初級濾網(wǎng)–外氣入口 （Pre-filter）（5um↑）
重?fù)魹V網(wǎng)–空調(diào)箱中 （MediumEfficiencyFilter’BagFilter） （1um↑）
高效率濾網(wǎng)–無塵室 （HighEfficiencyParticulateAirFilter’HEPA） （1um↓）
超高效率濾網(wǎng)–Class100↑ （UltraLowPenetrationAirFilter’ULPA） （o.5u↓）
空調(diào)凈化應(yīng)用
空調(diào)內(nèi)濾網(wǎng)及空調(diào)系統(tǒng)示意圖

根據(jù)行業(yè)制程的不同要求，產(chǎn)品對無塵等級的要求不同，對過濾器的選型也是不一樣的，不但要對應(yīng)過濾顆粒粒徑大小而設(shè)計(jì)，還要考慮空氣過濾器中不同規(guī)格的參數(shù)比如初阻力，效率精度，流速等因素來設(shè)計(jì)，選取相應(yīng)的過濾器。